荷兰ASML公司近日在官网宣布，完成了用于5nm及更先进工艺的第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试。
据介绍，HMI eScan1000能够同时产生、控制九道电子束，与单个电子束检查工具相比，将使吞吐量提高达600％。
IT之家了解到，新的MBI系统包括一个电子光学系统，能够创建和控制多个初级电子波束，然后收集和处理产生的次级电子波束，将波束之间的串扰限制在2%以内，并提供一致的成像质量。它还具有提高系统总体吞吐量的高速阶段和实时处理来自多个波束的数据流的高速计算体系结构。
目前，首台多波束检测系统已于本周交付客户进行鉴定。ASML计划增加光束数量和光束分辨率，以满足未来几代芯片制造商的产品路线图要求。
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