imec与三井化学合作,将推动EUV碳纳米管光掩膜薄膜商业化

22日讯,比利时微电子研究中心(imec)12月宣布,与日本三井化学签署战略合作协议,将共同推进EUV碳纳米管光掩膜薄膜(pellicle)技术商业化。根据协议,三井化学将把imec基于碳纳米管(CNT)颗粒的技术与三井化学的薄膜相关技术整合,目标是在2025~2026年期间将这种新产品引入高功率EUV系统。

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